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LEGS Linear LL06
- 독특한 Piezo LEGS® 방식의 구동을 통한 정밀 모션
- 백래시프리 구동에 의한 나노미터(nm) 모션제어
- 컴펙트한 사이즈 (17 x 19.6 x 7 mm)
- 스톨포스 6.5N
- 1.25um 또는 80nm 해상도의 내장형 엔코더(옵션)
- Full force power-off locking 안전 기능
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